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商业服务计划

通过优先技术支持、预防性维护、维修、培训及备用仪器借用服务，确保 Picarro 分析仪持续稳定运行。

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高级服务计划

为 Picarro 分析仪提供更全面的保障，涵盖维修、备件、远程健康检查、软件更新及培训服务。

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基础服务计划

通过远程诊断、软件更新、年度维护套件及维修折扣服务，确保您的 Picarro 仪器保持良好运行状态。

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PI5000 高级服务计划

为 PI5000 分析仪提供年度保障，涵盖维修、备件、远程诊断、维护、软件更新及培训服务。

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年度服务计划概览

Picarro 年度服务计划提供专业技术支持、维护、维修及全面保障，帮助最大限度地延长分析仪的正常运行时间。

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参数表

AMC 便携式泄漏检测系统数据表

便携式 AMC 泄漏监测系统可监测多达 16 个采样点位，快速识别半导体晶圆厂中的污染事件。

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参数表

SI2205 分析仪数据表

采用快速实时的 CRDS 技术，以 ppt 级灵敏度监测半导体晶圆厂中的氟化氢。

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参数表

SI2103 分析仪数据表

以 ppt 级灵敏度实时监测半导体晶圆厂中的氨气，响应快速且无需校准。

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参数表

SI2306 分析仪数据表

以高灵敏度测量 HF 和 NH₃，为半导体制造提供可靠的 AMC 监测。

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参数表

SI5450 分析仪数据表

以 ppt 级灵敏度实时检测二氧化硫，为半导体洁净室和晶圆厂提供可靠的 AMC 监测。

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参数表

SLiM 100 数据表

通过 ppb 级 VOC 检测实时监测光刻设备，提高半导体生产良率。

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参数表

AMC 工艺监测系统数据表

连续监测多达 32 个采样点位，快速识别 AMC 污染事件，优化半导体晶圆厂监测覆盖范围。

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参数表

SAM-C 数据表

通过快速、高精度采样，持续监测空气分子污染，保障半导体晶圆厂的生产环境。

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参数表

SI2000 系列分析仪数据表

高灵敏度实时监测无机 AMC，快速响应污染事件，助力保护半导体工艺并提升生产良率。

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参数表

SAM-S 数据表

通过快速、准确的多点采样，持续监测空气分子污染，保障半导体晶圆厂的生产环境。

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