English
简体中文
Deutsch
Picarro 是先进半导体工厂空气分子污染及化学污染监测系统的领先供应商。我们的高精度计量解决方案可在数秒内检测到无机污染物及挥发性有机化合物，检测灵敏度低至万亿分之一级别，远优于传统小时级检测速度。
凭借高速与高准确度，Picarro 解决方案帮助半导体制造商快速应对洁净室、FOUP 及光刻设备中的污染事件，有效提升生产良率，降低制造及设备维护成本。
快速精准检测洁净室内的化学与挥发性有机污染物
应用领域
光刻工艺设备监测
在确保光刻工艺完整性的同时，检测并量化有机与无机污染物。
洁净室 AMC 监测
快速识别并应对洁净室内的空气分子污染，最大限度降低超标事件和良率损失。
气体监测
实时测量和监测气体浓度，提升工艺效率，减少浪费。
产品
SI 分析仪
针对多种无机污染物，具备极高灵敏度与精准度的分析仪。
SLiM 100 系统
1 ppb 级计量解决方案，实现光刻工艺中 VOC 的实时检测。
SAM 系统
洁净室连续空气分子污染监测系统。
专为晶圆厂环境打造的监测与控制解决方案
在半导体制造环境中，低浓度空气分子污染物（AMC）监测极具挑战性。
Picarro 提供一整套解决方案，帮助晶圆厂运营商克服这些难题，实现实时监测，设备可在晶圆厂环境中全天候高效稳定运行，支持大批量工艺监测与过程控制。
Resources
Application Notes
Brochures
Data Sheets
User Manuals
0
Countries Served
0
Instruments Sold
0
Years in Business
Cutting-Edge Monitoring Solutions
Our History Leading the Industry
We are a global leader in hazardous pollutant and greenhouse gas monitoring with over 25 years of expertise, serving industrial and scientific sectors. We are ISO 9001:2015 certified, hold 77 patents, serve 100 countries, with over 5000 instruments installed, and provide innovative, end-to-end environmental monitoring and management solutions trusted by thousands worldwide.