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Picarro 是先进半导体晶圆厂领域 AMC 与化学污染监测系统的领先供应商。我们的高精度计量解决方案可在数秒内检测到低至万亿分之一（ppb）量级的无机污染物及挥发性有机化合物（VOC）污染物。
凭借卓越的检测速度与高准确度，Picarro 解决方案帮助半导体制造商快速应对洁净室、FOUP 及光刻设备中的污染事件，从而提升生产良率，降低制造及设备维护成本。
快速精准检测晶圆厂中化学品及 VOC 污染物
应用领域
光刻工艺设备监测
在确保光刻工艺完整性的同时，检测并量化有机与无机污染物。
洁净室 AMC 监测
快速识别并应对洁净室内的空气分子污染，最大限度降低超标事件和良率损失。
气体监测
实时测量和监测气体浓度，提升工艺效率，减少浪费。
产品
SI 分析仪
针对多种无机污染物，具备极高灵敏度与精准度的分析仪。
SLiM 100 系统
1 ppb 级计量解决方案，实现光刻工艺中 VOCs 的实时检测。
SAM 系统
洁净室 AMC 实时监测系统。
专为晶圆厂环境打造的监测与控制解决方案
在半导体制造环境中，对低浓度空气分子污染物（AMC）进行精准监测极具挑战性。
Picarro 提供一整套解决方案，助力晶圆厂操作人员有效应对这些挑战，我们的系统可提供实时测量数据，在晶圆厂环境中实现每周7天、每天24小时的高效稳定运行，并能用于大批量工艺的监测与控制。
资源中心
应用说明
产品手册
参数表
用户手册
0
个以上服务国家和地区
0
台以上设备销量
0
年以上运营发展
尖端监测解决方案
引领行业的辉煌历程
我们是全球领先的有害污染物与温室气体监测专家，拥有超过 25 年的行业经验，持续为工业与科研领域提供服务。
公司通过 ISO 9001:2015 认证，拥有 77 项专利，业务遍及 100 个国家，全球累计安装超过 5000 台设备，凭借创新的端到端环境监测与管理解决方案，赢得了全球众多客户的信赖。