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参数表

G2201-i 二氧化碳 ( CO2 ) 和甲烷 ( CH4 ) 高精度碳同位素分析仪

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参数表

G2920 环氧乙烷 (C2H4O) 环境气体浓度分析仪

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参数表

G2401 CO2, CO, CH4 and H2O 高精度气体浓度分析仪

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参数表

G2307 甲醛 ( H2CO ) 高精度气体浓度分析仪

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产品

SI 气体浓度分析仪

Picarro SI 系列分析仪可与 SLiM 100 和 SAM 系统集成，以满足特定的监测需求。该系列分析仪针对多种有机污染物和挥发性有机化合物（VOC）提供卓越的灵敏度和准确度，同时采用高度可靠、简单紧凑的设计。产品符合 SEMI...

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产品

SAM-S 和 SAM-C

SAM-S 和 SAM-C 提供快速多点 AMC 监测，实现半导体晶圆厂空气分子污染的准确连续检测。

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产品

二氧化硫（SO₂）气体浓度分析仪

以 ppt 级灵敏度实时监测 SO₂，快速响应污染事件，为半导体晶圆厂提供可靠的 AMC 检测。

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产品

氨气（NH₃）气体浓度分析仪

以 ppt 级灵敏度实时监测 NH₃，响应快速且无需现场校准，适用于半导体晶圆厂 AMC 监测。

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产品

氟化氢（HF）和氨气（NH₃）气体浓度分析仪

以 ppt 级灵敏度监测 HF 和 NH₃，响应快速且无需现场校准，适用于半导体晶圆厂 AMC 监测。

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产品

硫化氢（H₂S）气体浓度分析仪

高灵敏度实时监测 H₂S，响应快速且无需现场校准，适用于半导体晶圆厂 AMC 监测。

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产品

氯化氢（HCl）气体浓度分析仪

以 ppt 级灵敏度实时监测 HCl，快速连续分析且无需现场校准，适用于半导体晶圆厂 AMC 监测。

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产品

氟化氢（HF）气体浓度分析仪

以 ppt 级灵敏度实时监测 HF，响应快速且无需现场校准，适用于半导体晶圆厂 AMC 监测。

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产品

NH₃、HCl、HF 气体浓度分析仪

以 ppt 级灵敏度实时监测 NH₃、HCl 和 HF，快速响应污染事件，助力保护半导体生产良率。

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产品

SAM-C

采用高流量多点采样并支持多达 4 台分析仪，持续监测 AMC，实现精准的半导体污染检测。

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产品

SAM-S

支持多达 16 个采样端口和 2 台分析仪，快速多点监测 AMC，实现精准的半导体污染检测。

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