在半导体晶圆厂中，工艺设备分布在大面积洁净室区域及多个楼层。空气处理设备会循环洁净室内的大部分空气，因此可能迅速扩散空气分子污染物（AMC）。传统采样器采用线性歧管设计，会限制流向每台分析仪的气体流量，从而降低单台分析仪的性能。因此，传统采样器的整体性能往往受限于性能最低的分析仪。这最终会影响 AMC 的检测速度，可能导致误报，甚至完全漏检 AMC 污染事件。

SAM 系统采用先进的优化设计，可确保卓越的综合性能。其采用正在申请专利的非线性多路复用系统，可实现高气体流量，最大限度减少端口之间的交叉污染，并快速、准确地报告污染物浓度。

SAM-S 移动式洁净室监测

• 最多可对 16 个不同位置进行采样
• 最多可配置 2 台分析仪
• 测量无机污染物

SAM-C 洁净室监测

• 最多可对 32 个不同位置进行采样
• 最多可配置 4 台分析仪
• 测量无机污染物