Picarro SI 系列分析仪可与 SLiM 100 和 SAM 系统集成，以满足特定的监测需求。该系列分析仪针对多种有机污染物和挥发性有机化合物（VOC）提供卓越的灵敏度和准确度，同时采用高度可靠、简单紧凑的设计。产品符合 SEMI 标准，安装简便且维护成本低。分析仪测量气体SI3401NH3, HF, HClSI2205HFSI2108HClSI2104H2SSI2306HF, NH3SI2103NH3SI5450SO2 相关文献 SLiM 100 SAM-S SAM-C NH₃、HCl、HF 气体浓度分析仪 氟化氢（HF）气体浓度分析仪 氯化氢（HCl）气体浓度分析仪 硫化氢（H₂S）气体浓度分析仪 氟化氢（HF）和氨气（NH₃）气体浓度分析仪 氨气（NH₃）气体浓度分析仪 二氧化硫（SO₂）气体浓度分析仪
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