SLiM 100

光刻工艺中的挥发性有机化合物（VOCs）和无机化合物会导致光罩缺陷、扫描仪光学元件雾化以及其他严重问题，不仅会损坏昂贵的光刻设备，还可能造成良率损失。

Picarro SLiM 100 光刻监测系统是一款具有 1 ppb 级检测能力的监测系统，将 Picarro 行业领先的腔衰荡光谱（CRDS）分析仪集成到高性能采样系统中，专为监测晶圆厂内的 VOCs 而设计。

SLiM 100 是一套实时测量系统，可在晶圆厂环境中全天候 24/7 连续运行。作为一套完全集成的化学计量系统，其性能稳定、操作简便，非常适合作为大批量生产环境中的工艺监测与控制系统。

Picarro SLiM 100 可测量 10 种对光刻工艺产生不利影响的有机化合物，浓度检测灵敏度低至 十亿分之一（1 ppb）。该系统还可配置用于测量无机分子的分析仪，实现 万亿分之一（ppt）级的浓度检测。

检测气体	VOC：乙酸、丙酮、D3 硅氧烷、HMDSO、IPA、PGME、TMS、D6 硅氧烷、NMP、PGMEA 无机物（可选）：NH₃、HF、HCl、SO₂、H₂S（取决于下表中所选的分析仪）
采样管线	1/2" 外径 × 3/8" 内径 UHP-PFA 管
端口数量	24 或 32
尺寸	键盘托盘关闭 79"（高）× 34"（宽）× 38"（深） 2012 mm（高）× 864 mm（宽）× 971 mm（深）	键盘托盘打开 79"（高）× 34"（宽）× 46"（深） 2012 mm（高）× 864 mm（宽）× 1172 mm（深）
重量（不含分析仪）	24 端口：447 lbs（203 kg） 32 端口：482 lbs（218 kg）每台分析仪增加 75 lbs（34 kg）
电源要求	220-240 VAC 单相，50/60 Hz，20 Amp
通信	以太网 TCP/IP、RESTful API
保修期	12 个月
认证	CE、SEMI S2
制造国家	美国

*-VOC（乙酸、丙酮、D3 硅氧烷、HMDSO、IPA、PGME、TMS、D6 硅氧烷、NMP、PGMEA）

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