SI5450 将高灵敏度激光光谱技术集成于一套结构紧凑、易于操作且高度可靠的系统中。该分析仪采用中红外激光器，可高精度测量二氧化硫（SO₂）浓度，性能稳定。与传统 AMC 测量技术（如离子迁移谱 IMS、离子色谱、质谱和紫外荧光）相比，SI5450 在响应速度、检测精度和运行成本方面均具有显著优势。传统方法普遍存在响应慢、性能不足、运行成本高的问题。

主要优势

• 实时监测洁净室、FOUP…

Picarro SI2306 可对氟化氢（HF）和氨气（NH₃）进行万亿分之一（ppt）级别的超高精度测量，具备可靠、易用、紧凑的设计。设备可在数分钟内完成部署并投入运行，无需现场校准或耗材支持，可连续运行数月，无需人工干预。

主要优势

• 可在洁净室、FOUP 和晶圆厂设备中实现实时 AMC 监测

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Picarro SI2104 可对硫化氢（H₂S）进行十亿分之一（ppb）级别的超高精度测量，具备可靠、易用、紧凑的设计特点。该设备可在数分钟内完成部署并投入使用，无需现场校准或耗材支持，可连续运行数月，无需人工干预。

主要优势

• 实时监测洁净室、FOUP 及晶圆厂设备中的 AMC

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Picarro SI2103 可对氨气（NH₃）进行万亿分之一（ppt）级别的超高精度测量，具备可靠、易用、紧凑的设计。该设备可在数分钟内部署并投入运行，无需现场校准与耗材支持，可持续运行数月，无需人工干预。

主要优势

• 实现洁净室、FOUP 及晶圆厂设备中的实时 AMC 监测

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Picarro SI2108 气体浓度分析仪

Picarro SI2108 可对氯化氢（HCl）进行万亿分之一（ppt）级别的超高精度测量，具备可靠、易用、紧凑的设计。该设备可在数分钟内完成部署投入使用，无需现场校准与耗材支持，可连续运行数月，无需人工干预。

主要优势

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　　该产品已停产。请参考相对应的分析仪 G2508。

Picarro G2308气体浓度分析仪可同步精确测量氧化亚氮（N₂O）、灵敏度为十亿分率（ppb）的甲烷 （CH₄） 和灵敏度为百万分率（ppm）的水汽（H₂O），针对大气科学、空气质量和量化排放应用所产生的漂移可忽略不计。这款分析仪可在开放式或封闭式系统中运行，并且能够轻松与腔室系统进行集成。

• 同步连续测量 N…