在半导体晶圆厂中，工艺设备通常分布在大型洁净室区域及多个楼层。空气处理系统会循环洁净室内的大部分空气，这可能导致空气分子污染物（AMC）迅速扩散至其他区域，从而影响远离污染源的工艺步骤。这些 AMC 可引发多种问题，包括：

• 由多种酸碱性物质引起的视觉与非视觉缺陷，导致晶圆良率下降
• 雾状物沉积导致的设备损伤，尤其是光学玻璃与掩模版

一次 Fab 异常可能造成数百万美元的产值损失。因此，及时识别并响应 AMC 事件至关重要。

Picarro 的 SAM 洁净室 AMC 监测解决方案，帮助晶圆厂工程师与设施管理人员实时监测多种污染物，并在需要时立即采取纠正措施。

方案优势

• 实时监测多种酸性与碱性气体
• 高灵敏度检测，最低可至 ppt（万亿分之一）级别
• 最多支持 32 个采样点，覆盖晶圆厂 100 米范围内多个区域
• 快速采样选项，可配合洁净和清洗系统迅速清洁采样管线
• 各采样通道间无交叉污染

先进的采样系统设计
传统采样系统通常通过线性管汇连接多个分析仪，气体流量受限，容易降低整体检测性能，使性能退化至最低标准，从而延迟对 AMC 的检测，甚至导致漏报或误报。

Picarro 的 SAM 系统采用专利申请中的非线性多路复用设计，可实现高气体流速、最小化交叉污染，并快速准确报告 AMC 浓度。系统可配置监测晶圆厂中最多 32 个不同位置。气体样品通过采样系统被引入 Picarro 的 CRDS 分析仪中，用户可通过图形界面实时查看每秒更新的数据和趋势分析。

该系统可与 Picarro 分析仪搭配使用，监测以下关键污染物：

• 氨气（NH₃）
• 氟化氢（HF）
• 氯化氢（HCl）
• 二氧化硫（SO₂）
• 硫化氢（H₂S）

快速解答工艺工程师最关心的问题：

• 是否发生了 AMC 异常？
• 污染源位于晶圆厂的哪个区域？
• AMC 事件发生的时间是什么时候？
• 此类事件是否重复发生？
• 潜在污染源可能是什么？
• 是否需要更换化学过滤器？