二氧化硫（SO₂）气体浓度分析仪

二氧化硫（SO₂）气体浓度分析仪

无机气体 AMC 监测

SI5450 将高灵敏度激光光谱技术集成于一套结构紧凑、易于操作且高度可靠的系统中。该分析仪采用中红外激光器，可高精度测量二氧化硫（SO₂）浓度，性能稳定。与传统 AMC 测量技术（如离子迁移谱 IMS、离子色谱、质谱和紫外荧光）相比，SI5450 在响应速度、检测精度和运行成本方面均具有显著优势。传统方法普遍存在响应慢、性能不足、运行成本高的问题。

主要优势

实时监测洁净室、FOUP 及晶圆厂设备中的 AMC
秒级快速、连续分析
几乎无停机时间，耗材成本极低
不受常见晶圆厂化学品干扰
极高测量准确度，适用于事件确认

检测气体	二氧化硫（SO₂）
精度 (1σ)	≤360 ppt（10 秒）， ≤120 ppt（100 秒）， ≤70 ppt（300 秒）
最低检测限 (3σ)	350 ppt（100 秒）， 200 ppt（300 秒）， 140 ppt（600 秒）
线性度（依据 IEC 61207 标准）	±1%
量程准确度	±5% @ 满量程
零点准确度	±300 ppt
仪器间一致性	±5% @ 满量程 ±300 ppt @ zero
测量范围	0-1000 ppb
测量间隔^*	< 5 秒
样品流量	~0.2 标准升/分钟
综合响应时间 (T90/10 + T10/90) @ 20 ppb（潮湿条件下）	<30 秒
响应时间（下降） T90/10 @ 20 ppb（潮湿条件下）	<15 秒

测量技术	光腔衰荡光谱技术
校准周期	无需校准；初次验证 6 个月后，之后每 12 个月验证一次
验证时间	根据制造商说明，预计每次验证时间＜15 分钟
测量腔温控	±0.005°C
测量腔压控	±0.0002 atm
工作温度	15 至 35°C（运行）；-10 至 50°C（存储）
环境湿度	<99% RH，非冷凝
配件	外置泵（标配）、键盘（标配）、鼠标（标配）、LCD 显示器（可选）、维护工具包（可选）
通信接口	RS-232，以太网，USB，Modbus，4-20mA（可选）
样气入口	1/4 英寸不锈钢 Swagelok® 管接头（推荐使用 1/4 英寸外径 PFA 管）
外形/尺寸	分析仪：42.24 x 22.22 x 76.84 厘米（16.63 x 8.75 x 30.25 英寸）
重量	34 千克（75 磅），包含外置泵
电源要求	100– 240 VAC，47–63 Hz（自感应），总功率 <400 W：分析仪 250 W，泵 150 W（稳态）
质保期	12 个月
认证	CE 认证
原产国	美国

组件/部件	操作	频率
颗粒过滤器	更换	每 6 个月
测量验证	代理验证	每 12 个月
泵	重建（隔膜）	每 2 年预防性维护
风扇组件	更换	每 2 年预防性维护
外置泵	更换	每 5 年