硫化氢(H₂S)气体浓度分析仪
硫化氢(H₂S)气体浓度分析仪
无机气体 AMC 监测
无机气体 AMC 监测
Picarro SI2104 可对硫化氢(H₂S)进行十亿分之一(ppb)级别的超高精度测量,具备可靠、易用、紧凑的设计特点。该设备可在数分钟内完成部署并投入使用,无需现场校准或耗材支持,可连续运行数月,无需人工干预。
主要优势
实时监测洁净室、FOUP 及晶圆厂设备中的 AMC
秒级快速、连续分析
几乎无停机时间,耗材成本极低
不受常见晶圆厂化学品干扰
极高测量准确度,适用于事件确认
无需现场校准
| 测量组分 | 硫化氢 (H2S) |
|---|---|
| 精度(1σ) | ≤1.5 ppb(10 秒), ≤0.5 ppb(100 秒) |
| 检测下限(3σ) | 1 ppb(100 秒) |
| 方法检测限 (依据 Semi C10-1109) | 3 ppb |
| 线性度 (依据 IEC 61207) | ±1% |
| 量程准确度 | ±5% @ 满量程 |
| 零点准确度 | ±2 ppb |
| 仪器间一致性 | ±5% @ 满量程 ±2 ppb @ 零点 |
| 测量范围 | 0-10 ppm |
| 测量间隔* | <4 秒 |
| 采样流量 | ~0.4 标准升/分钟 |
| 综合响应时间 (T90/10 + T10/90) @ 20 ppb | <20 秒 (100 ppb) |
| 响应时间(下降) T90/10 @ 20 ppb | <10 seconds (100 ppb) |
*在满量程条件下,测量间隔可能会比所列数值增加 2 倍。
| 测量技术 | 光腔衰荡光谱技术 |
|---|---|
| 校准周期 | 无需校准;初次验证 6 个月后,之后每 12 个月验证一次 |
| 验证时间 | 根据制造商说明,预计每次验证时间 <15 分钟 |
| 测量腔温控 | ±0.005°C |
| 测量腔压控 | ±0.0002 atm |
| 工作温度 | 15 至 35°C(运行);-10 至 50°C(存储) |
| 环境湿度 | 小于 85% 相对湿度,无冷凝条件下 |
| 配件 | 随附:泵(外置)、键盘、鼠标 选配:LCD 显示器(A0901)、16 路进样器(A0311、A0311-S)、机架安装(A0954) |
| 通信接口 | RS-232、以太网、USB、模拟 0-10 V、Modbus、4-20mA(可选) |
| 接头 | 1/4 英寸不锈钢 Swagelok® 管接头(推荐使用 1/4 英寸外径 PFA 管) |
| 外形尺寸 | 分析仪:17 英寸宽 × 8.38 英寸高 × 24.4 英寸长(43.2 × 21.3 × 62 厘米),包括垫脚 外置泵:6.1 英寸宽 × 8.7 英寸高 × 13.6 英寸长(15.5 × 22 × 34.5 厘米) |
| 重量 | 分析仪:小于 55 磅(25 千克),外置泵:小于 14.3 磅(6.5 千克) |
| 电源要求 | 100-240 伏交流电;47-63 Hz(自动侦测);启动时(总计)小于 375 瓦 稳态运行:120 瓦(分析仪),150 瓦(泵) |
| 质保期 | 12 个月 |
| 认证 | CE 认证 |
| 原产国 | 美国 |
| 组件/部件 | 操作 | 频率 |
|---|---|---|
| 颗粒过滤器 | 更换 | 每 6 个月 |
| 测量验证 | 代理验证 | 每 12 个月 |
| 泵 | 重建(隔膜) | 每 2 年预防性维护 |
| 风扇组件 | 更换 | 每 2 年预防性维护 |
| 外置泵 | 更换 | 每 5 年 |