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硫化氢(H₂S)气体浓度分析仪

无机气体 AMC 监测

Picarro SI2104 可对硫化氢(H₂S)进行十亿分之一(ppb)级别的超高精度测量,具备可靠、易用、紧凑的设计特点。该设备可在数分钟内完成部署并投入使用,无需现场校准或耗材支持,可连续运行数月,无需人工干预。

主要优势

  • 实时监测洁净室、FOUP 及晶圆厂设备中的 AMC

  • 秒级快速、连续分析

  • 几乎无停机时间,耗材成本极低

  • 不受常见晶圆厂化学品干扰

  • 极高测量准确度,适用于事件确认

  • 无需现场校准

测量组分硫化氢 (H2S)
精度(1σ)≤1.5 ppb(10 秒),
≤0.5 ppb(100 秒)
检测下限(3σ)1 ppb(100 秒)
方法检测限
(依据 Semi C10-1109)
3 ppb
线性度
(依据 IEC 61207)
±1%
量程准确度±5% @ 满量程
零点准确度±2 ppb
仪器间一致性±5% @ 满量程
±2 ppb @ 零点
测量范围0-10 ppm
测量间隔*<4 秒
采样流量~0.4 标准升/分钟
综合响应时间
(T90/10 + T10/90) @ 20 ppb
<20 秒 (100 ppb)
响应时间(下降)
T90/10 @ 20 ppb
<10 seconds (100 ppb)

*在满量程条件下,测量间隔可能会比所列数值增加 2 倍。

测量技术光腔衰荡光谱技术
校准周期无需校准;初次验证 6 个月后,之后每 12 个月验证一次
验证时间根据制造商说明,预计每次验证时间 <15 分钟
测量腔温控±0.005°C
测量腔压控±0.0002 atm
工作温度15 至 35°C(运行);-10 至 50°C(存储)
环境湿度小于 85% 相对湿度,无冷凝条件下
配件随附:泵(外置)、键盘、鼠标
选配:LCD 显示器(A0901)、16 路进样器(A0311、A0311-S)、机架安装(A0954)
通信接口RS-232、以太网、USB、模拟 0-10 V、Modbus、4-20mA(可选)
接头1/4 英寸不锈钢 Swagelok® 管接头(推荐使用 1/4 英寸外径 PFA 管)
外形尺寸分析仪:17 英寸宽 × 8.38 英寸高 × 24.4 英寸长(43.2 × 21.3 × 62 厘米),包括垫脚
外置泵:6.1 英寸宽 × 8.7 英寸高 × 13.6 英寸长(15.5 × 22 × 34.5 厘米)
重量分析仪:小于 55 磅(25 千克),外置泵:小于 14.3 磅(6.5 千克)
电源要求100-240 伏交流电;47-63 Hz(自动侦测);启动时(总计)小于 375 瓦
稳态运行:120 瓦(分析仪),150 瓦(泵)
质保期12 个月
认证CE 认证
原产国美国
组件/部件操作频率
颗粒过滤器更换每 6 个月
测量验证代理验证每 12 个月
重建(隔膜)每 2 年预防性维护 
风扇组件更换每 2 年预防性维护 
外置泵 更换每 5 年