氨气（NH₃）、氯化氢（HCl）、氟化氢（HF）气体浓度分析仪

SI3401 分析仪可实时监测氨气（NH₃）、氯化氢（HCl）和氟化氢（HF）的浓度。该分析仪专为晶圆厂环境设计，帮助运营人员快速识别并应对可能影响晶圆良率的污染事件。

SI3401 采用 Picarro 高选择性、高灵敏度、高准确度的腔衰荡光谱（CRDS）技术，具备以下特点：

性能参数	HCl	HF	NH₃	H₂O
精度	≤ 75 ppt（10 秒）, ≤ 25 ppt（100 秒）	≤ 40 ppt（10 秒）, ≤ 13 ppt（100 秒）	≤ 300 ppt（10 秒）, ≤ 100 ppt（100 秒）	20 ppm +（8 x 水汽百分比）（10 秒） 10 ppm +（4 x 水汽百分比）（100 秒）
最低检测限 (100 秒, 3σ）	75 ppt	40 ppt	300 ppt	30 ppm
方法检测限 (依据 SEMI C10-1109 标准）	250 ppt	500 ppt	500 ppt	40 ppm
线性度 (依据 IEC 61207 标准）	±1%	±1%	±1%	±1%
量程准确度	±5% @ 满量程	±5% @ 满量程	±5% @ 满量程	±5% @ 满量程
零点准确度	±50 ppt	±25 ppt	±150 ppt	±40 ppm
仪器间一致性	±5% @ 满量程 ±50 ppt% @ 零点	±5% @ 满量程 ±25 ppt% @ 零点	±5% @ 满量程 ±150 ppt% @ 零点	±5% @ 满量程 ±40 ppt% @ 零点
测量范围	0-2 ppm	0-1 ppm	0-10 ppm	0-40000 ppm
测量间隔	< 9 秒		<5 秒	<9 秒
样品流量	~2 标准升/分钟
综合响应时间（T90/10 + T10/90）@ 20 ppb	<3 分钟			< 20 秒（10,000 ppm）
响应时间（下降）（T90/10 @ 20 ppb）	<1 分钟			< 10 sec（10,000 ppm）

测量技术	光腔衰荡光谱（CRDS）技术
工作温度	15 至 35°C（运行）；-10 至 50°C（存储）
环境湿度	<85% RH，非冷凝
配件	外置泵（标配）、键盘（标配）、鼠标（标配）、LCD 显示器（可选）
通信接口	RS-232、以太网、USB
样气入口	1/4 英寸不锈钢 Swagelok® 管接头（推荐使用 1/4 英寸外径 PFA 管）
外形/尺寸	分析仪：43 × 21.3 × 63 厘米（16.7 × 8.4 × 24.8 英寸）
重量	70 磅（31.75 千克），包含外置泵
电源要求	100 – 240 VAC，47 – 63 Hz（自感应），总功率 < 400 W：分析仪 250 W，泵 150 W（稳态）
质保期	12 个月
认证	CE
生产地	美国