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氟化氢(HF)和氨气(NH₃)气体浓度分析仪

无机气体 AMC 监测

Picarro SI2306 可对氟化氢(HF)和氨气(NH₃)进行万亿分之一(ppt)级别的超高精度测量,具备可靠、易用、紧凑的设计。设备可在数分钟内完成部署并投入运行,无需现场校准或耗材支持,可连续运行数月,无需人工干预。

主要优势

  • 可在洁净室、FOUP 和晶圆厂设备中实现实时 AMC 监测

  • 秒级快速、连续分析

  • 几乎无停机时间,耗材成本极低

  • 不受常见晶圆厂化学品干扰

  • 极高测量准确度,适用于事件确认

  • 无需现场校准

测量组分氟化氢(HF)氨气(NH3
精度(1σ)≤30 ppt(10 秒),
≤10 ppt(100 秒)
≤300 ppt(10 秒),
≤100 ppt(100 秒)
最低检测限(3σ)30 ppt300 ppt
方法检测限
(依据 Semi C10-1109)
500 ppt500 ppt
线性度
(依据 IEC 61207)
±1%±1%
量程准确度±5% @ 满量程±5% @ 满量程
零点准确度±25 ppt±100 ppt
仪器间一致性±5% @ 满量程
±25 ppt @ 零点
±5% @ 满量程
±100 ppt @ 零点
测量范围0-1 ppm0-10 ppm
测量间隔*<4 秒
采样流量~2 标准升/分钟
综合响应时间
(T90/10 + T10/90) @ 20 ppb
<3 分钟
响应时间(下降)
T90/10 @ 20 ppb
<1 分钟

*在满量程条件下,测量间隔可能会比所列数值增加 2 倍。

测量技术光腔衰荡光谱(CRDS)技术
校准周期无需校准;初次验证 6 个月后,之后每 12 个月验证一次
验证时间根据制造商说明,预计每次验证时间 <15 分钟
测量腔温控±0.005°C
测量腔压控±0.0002 atm
工作温度15 至 35°C(运行); -10 至 50°C (存储)
环境湿度<99% RH,非冷凝
配件外置泵(标配)、键盘(标配)、鼠标(标配)、LCD 显示器(可选)、维护工具包(可选)
通信接口RS-232、以太网、USB、模拟量 0 –10V、Modbus,4–20mA(可选)
样气入口1/4 英寸不锈钢 Swagelok® 管接头(推荐使用 1/4 英寸外径 PFA 管)
外形/尺寸分析仪:43.2 x 21.3 x 62 厘米(17 x 8.38 x 24.4 英寸)
重量33.18 千克(73 磅),包含外置泵
电源要求100–240 VAC,47–63 Hz(自动感应),总功率 <400 W:分析仪 250 W,泵 150 W(稳态)
质保期12 个月
认证CE 认证
原产国美国
组件/部件操作频率
颗粒过滤器更换每 6 个月
测量验证代理验证每 12 个月
重建(隔膜)每 2 年预防性维护 
风扇组件 更换每 2 年预防性维护 
外置泵 更换每 5 年