氟化氢(HF)和氨气(NH₃)气体浓度分析仪
氟化氢(HF)和氨气(NH₃)气体浓度分析仪
无机气体 AMC 监测
无机气体 AMC 监测
Picarro SI2306 可对氟化氢(HF)和氨气(NH₃)进行万亿分之一(ppt)级别的超高精度测量,具备可靠、易用、紧凑的设计。设备可在数分钟内完成部署并投入运行,无需现场校准或耗材支持,可连续运行数月,无需人工干预。
主要优势
可在洁净室、FOUP 和晶圆厂设备中实现实时 AMC 监测
秒级快速、连续分析
几乎无停机时间,耗材成本极低
不受常见晶圆厂化学品干扰
极高测量准确度,适用于事件确认
无需现场校准
| 测量组分 | 氟化氢(HF) | 氨气(NH3) |
|---|---|---|
| 精度(1σ) | ≤30 ppt(10 秒), ≤10 ppt(100 秒) | ≤300 ppt(10 秒), ≤100 ppt(100 秒) |
| 最低检测限(3σ) | 30 ppt | 300 ppt |
| 方法检测限 (依据 Semi C10-1109) | 500 ppt | 500 ppt |
| 线性度 (依据 IEC 61207) | ±1% | ±1% |
| 量程准确度 | ±5% @ 满量程 | ±5% @ 满量程 |
| 零点准确度 | ±25 ppt | ±100 ppt |
| 仪器间一致性 | ±5% @ 满量程 ±25 ppt @ 零点 | ±5% @ 满量程 ±100 ppt @ 零点 |
| 测量范围 | 0-1 ppm | 0-10 ppm |
| 测量间隔* | <4 秒 | |
| 采样流量 | ~2 标准升/分钟 | |
| 综合响应时间 (T90/10 + T10/90) @ 20 ppb | <3 分钟 | |
| 响应时间(下降) T90/10 @ 20 ppb | <1 分钟 | |
*在满量程条件下,测量间隔可能会比所列数值增加 2 倍。
| 测量技术 | 光腔衰荡光谱(CRDS)技术 |
|---|---|
| 校准周期 | 无需校准;初次验证 6 个月后,之后每 12 个月验证一次 |
| 验证时间 | 根据制造商说明,预计每次验证时间 <15 分钟 |
| 测量腔温控 | ±0.005°C |
| 测量腔压控 | ±0.0002 atm |
| 工作温度 | 15 至 35°C(运行); -10 至 50°C (存储) |
| 环境湿度 | <99% RH,非冷凝 |
| 配件 | 外置泵(标配)、键盘(标配)、鼠标(标配)、LCD 显示器(可选)、维护工具包(可选) |
| 通信接口 | RS-232、以太网、USB、模拟量 0 –10V、Modbus,4–20mA(可选) |
| 样气入口 | 1/4 英寸不锈钢 Swagelok® 管接头(推荐使用 1/4 英寸外径 PFA 管) |
| 外形/尺寸 | 分析仪:43.2 x 21.3 x 62 厘米(17 x 8.38 x 24.4 英寸) |
| 重量 | 33.18 千克(73 磅),包含外置泵 |
| 电源要求 | 100–240 VAC,47–63 Hz(自动感应),总功率 <400 W:分析仪 250 W,泵 150 W(稳态) |
| 质保期 | 12 个月 |
| 认证 | CE 认证 |
| 原产国 | 美国 |
| 组件/部件 | 操作 | 频率 |
|---|---|---|
| 颗粒过滤器 | 更换 | 每 6 个月 |
| 测量验证 | 代理验证 | 每 12 个月 |
| 泵 | 重建(隔膜) | 每 2 年预防性维护 |
| 风扇组件 | 更换 | 每 2 年预防性维护 |
| 外置泵 | 更换 | 每 5 年 |