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氟化氢(HF)气体浓度分析仪

无机气体的 AMC 监测

Picarro SI2205 气体浓度分析仪采用可靠、易用、紧凑的设计,可对氟化氢(HF)进行万亿分之一(ppt)级别的测量。设备可在数分钟内完成部署并投入运行,无需现场校准与耗材支持,可实现数月无人值守运行。

主要优势

  • 可用于洁净室、FOUP 及晶圆厂设备中的实时 AMC 监测

  • 快速连续分析,响应时间仅需数秒

  • 几乎无停机时间,耗材成本极低

  • 不受晶圆厂常见化学品的干扰

  • 超高精度,确保事件确认

  • 无需现场校准

检测气体氟化氢 (HF)
精度(1σ,100 秒)10 ppt
最低检测限 (3σ,100 秒)30 ppt
方法检测限
(依据 Semi C10-1109 标准)
500 ppt
线性度
(依据 IEC 61207)
±1%
量程准确度±5% @ 满量程
零点准确度±25 ppt
仪器间一致性±5% @ 满量程
±25 ppt @ 零点
测量范围0-1 ppm
测量间隔*< 4秒
样品流量~2 标准升/分钟
综合响应时间
(T90/10 + T10/90) @ 20 ppb
<3 分钟
响应时间(下降)
T90/10 @ 20 ppb
<1 分钟

*在满量程条件下,测量间隔可能会比所列数值增加 2 倍。

测量技术光腔衰荡光谱(CRDS)技术
校准周期无需校准;初次验证 6 个月后,之后每 12 个月验证一次
验证时间根据制造商说明,预计每次验证时间 <15 分钟
测量腔温控±0.005°C
测量腔压控±0.0002 atm
工作温度15 至 35°C(运行);-10 至 50°C(存储)
环境湿度<99% RH,非冷凝
配件外置泵(标配)、键盘(标配)、鼠标(标配)、LCD 显示器(可选)、维护工具包(可选)
数据输出RS‑232、以太⽹、USB、模拟 0‒10 V、Modbus、4‑20mA(可选)
样气入口1/4 英寸不锈钢 Swagelok® 管接头(推荐使用 1/4 英寸外径 PFA 管)
外形/尺寸分析仪:17 英寸宽 x 8.38 英寸高 x 24.4 英寸深(43.2 × 21.3 × 62 厘米),含⽀脚
外置泵:6.1 英寸宽 x 8.7 英寸高 x 13.6 英寸深(15.5 x 22 x 34.5 厘米)
重量分析仪重量<55磅(25公斤),外置泵重量<14.3磅(6.5公斤)
电源要求100‒240 VAC,47‒63 Hz(⾃动感应),启动时<375 W(总计)
稳定状态运行:120 W(分析仪),150 W (泵)
质保期12 个月
认证CE 认证
原产国美国
组件/部件操作频率
颗粒过滤器更换每 6 个月
测量验证代理验证每 12 个月
重建(隔膜)每 2 年预防性维护 
风扇组件 更换每 2 年预防性维护 
外置泵 更换每 5 年