氟化氢(HF)气体浓度分析仪
氟化氢(HF)气体浓度分析仪
无机气体的 AMC 监测
无机气体的 AMC 监测
Picarro SI2205 可对氟化氢(HF)进行超高精度的万亿分之一(ppt)级浓度测量,具备可靠、易用、紧凑的设计特点。设备可在数分钟内完成部署并投入运行,无需现场校准与耗材支持,可实现数月无人值守运行。
主要优势
可用于洁净室、FOUP 及晶圆厂设备中的实时 AMC 监测
秒级快速连续分析
几乎无停机时间,耗材成本极低
不受常见晶圆厂化学品干扰
事件确认时具备极高测量准确度
无需现场校准
| 检测气体 | 氟化氢 (HF) |
|---|---|
| 精度(1σ,100 秒) | 10 ppt |
| 最低检测限 (3σ,100 秒) | 30 ppt |
| 方法检测限 (依据 Semi C10-1109 标准) | 500 ppt |
| 线性度 (依据 IEC 61207) | ±1% |
| 量程准确度 | ±5% @ 满量程 |
| 零点准确度 | ±25 ppt |
| 仪器间一致性 | ±5% @ 满量程 ±25 ppt @ 零点 |
| 测量范围 | 0-1 ppm |
| 测量间隔* | < 4秒 |
| 样品流量 | ~2 标准升/分钟 |
| 综合响应时间 (T90/10 + T10/90) @ 20 ppb | <3 分钟 |
| 响应时间(下降) T90/10 @ 20 ppb | <1 分钟 |
*在满量程条件下,测量间隔可能会比所列数值增加 2 倍。
| 测量技术 | 光腔衰荡光谱(CRDS)技术 |
|---|---|
| 校准周期 | 无需校准;初次验证 6 个月后,之后每 12 个月验证一次 |
| 验证时间 | 根据制造商说明,预计每次验证时间 <15 分钟 |
| 测量腔温控 | ±0.005°C |
| 测量腔压控 | ±0.0002 atm |
| 工作温度 | 15 至 35°C(运行);-10 至 50°C(存储) |
| 环境湿度 | <99% RH,非冷凝 |
| 配件 | 外置泵(标配)、键盘(标配)、鼠标(标配)、LCD 显示器(可选)、维护工具包(可选) |
| 数据输出 | RS‑232、以太⽹、USB、模拟 0‒10 V、Modbus、4‑20mA(可选) |
| 样气入口 | 1/4 英寸不锈钢 Swagelok® 管接头(推荐使用 1/4 英寸外径 PFA 管) |
| 外形/尺寸 | 分析仪:17 英寸宽 x 8.38 英寸高 x 24.4 英寸深(43.2 × 21.3 × 62 厘米),含⽀脚 外置泵:6.1 英寸宽 x 8.7 英寸高 x 13.6 英寸深(15.5 x 22 x 34.5 厘米) |
| 重量 | 分析仪重量<55磅(25公斤),外置泵重量<14.3磅(6.5公斤) |
| 电源要求 | 100‒240 VAC,47‒63 Hz(⾃动感应),启动时<375 W(总计) 稳定状态运行:120 W(分析仪),150 W (泵) |
| 质保期 | 12 个月 |
| 认证 | CE 认证 |
| 原产国 | 美国 |
| 组件/部件 | 操作 | 频率 |
|---|---|---|
| 颗粒过滤器 | 更换 | 每 6 个月 |
| 测量验证 | 代理验证 | 每 12 个月 |
| 泵 | 重建(隔膜) | 每 2 年预防性维护 |
| 风扇组件 | 更换 | 每 2 年预防性维护 |
| 外置泵 | 更换 | 每 5 年 |