气体监测 | Picarro

提升工艺效率，减少资源浪费

实时测量与监测气体浓度

晶圆厂在半导体制造过程中需要对气体混合物进行精确控制。即使气体成分的微小变化，也可能对晶圆的质量与一致性产生显著影响。

气体浓度分析仪能帮助工厂操作员确保工艺用气符合规范要求。这类分析仪通常与监测系统协同工作，提供实时反馈数据，从而提升工艺效率，减少资源浪费。

Picarro 分析仪可与 SLiM 100 光刻工艺设备及 SAM AMC 监测系统集成，满足特定需求。该系列分析仪兼具极高灵敏度与精确度，可检测多种无机污染物及挥发性有机化合物（VOCs），同时采用高度可靠、结构简洁紧凑的设计。产品符合 SEMI 标准，安装便捷，维护成本低廉。