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氯化氢(HCl)气体浓度分析仪

无机气体 AMC 监测

Picarro SI2108 气体浓度分析仪

Picarro SI2108 可对氯化氢(HCl)进行万亿分之一(ppt)级别的超高精度测量,具备可靠、易用、紧凑的设计。该设备可在数分钟内完成部署投入使用,无需现场校准与耗材支持,可连续运行数月,无需人工干预。

主要优势

  • 实现洁净室、FOUP 及晶圆厂设备中的实时 AMC 监测

  • 秒级快速、连续分析

  • 几乎无停机时间,耗材成本极低

  • 不受常见晶圆厂化学品干扰

  • 具备极高测量精度,适用于事件确认

  • 无需现场校准

检测气体氯化氢(HCl)
精度 (1σ)≤45 ppt (10 秒),
≤15 ppt (100 秒)
检测下限(3σ,100 秒)45 ppt
方法检测限
依据 Semi C10-1109)
250 ppt
线性度
(依据 IEC 61207)
±1%
量程准确度±5% @ 满量程
零点准确度±50 ppt
仪器间一致性±5% @ 满量程
±50 ppt @ 零点
测量范围0-2 ppm
测量间隔*< 3 秒
样品流量~2 标准升/分钟
综合响应时间
T90/10 + T10/90)@ 20 ppb
<3 分钟
响应时间(下降)
T90/10 @ 20 ppb
<1 分钟

*跨度测量间隔可能比所列值增加 2 倍。

测量技术光腔衰荡光谱(CRDS)技术
校准周期建议无需校准——首次验证在 6 个月时进行,此后每 12 个月进行一次
执行验证所需时间根据制造商说明,预计少于 15 分钟
测量池温度±0.005°C
测量池压力控制±0.0002 大气压
环境温度15 至 35℃(运行);-10 至 50℃(贮存)
样品湿度小于 99% 相对湿度(在 40℃ 无冷凝条件下,无需干燥)
附件随附:泵(外置)、键盘、鼠标
选配:LCD 显示器(A0901)
操作系统和数据输出RS-232、以太网、USB、模拟 0-10 V、Modbus、4-20mA(可选)
接头¼”Swagelok® 不锈钢接头(建议使用外径为 ¼”的 PFA 管)
外形尺寸分析仪:17 英寸宽 × 8.38 英寸高 × 24.4 英寸长(43.2 × 21.3 × 62 厘米),包括垫脚
外置泵:6.2 英寸宽 × 8.9 英寸高 × 12.8 英寸长(15.8 × 22.6 × 32.4 厘米)
重量分析仪:小于 55 磅(25 千克),外置泵:小于 14.3 磅(6.5 千克)
电源要求100-240 伏交流电;47-63 Hz(自动侦测);启动时(总计)小于 375 瓦。
稳态运行:120 瓦(分析仪),150 瓦(泵)。
质保期12 个月
认证CE
生产地美国
组件/部件操作频率
颗粒过滤器更换每 6 个月
测量验证代理验证每 12 个月
重建(隔膜)每 2 年预防性维护
风扇组件更换每 2 年预防性维护
外置泵更换每 5 年