氯化氢(HCl)气体浓度分析仪
氯化氢(HCl)气体浓度分析仪
无机气体 AMC 监测
无机气体 AMC 监测
Picarro SI2108 气体浓度分析仪
Picarro SI2108 可对氯化氢(HCl)进行万亿分之一(ppt)级别的超高精度测量,具备可靠、易用、紧凑的设计。该设备可在数分钟内完成部署投入使用,无需现场校准与耗材支持,可连续运行数月,无需人工干预。
主要优势
实现洁净室、FOUP 及晶圆厂设备中的实时 AMC 监测
秒级快速、连续分析
几乎无停机时间,耗材成本极低
不受常见晶圆厂化学品干扰
具备极高测量精度,适用于事件确认
无需现场校准
| 检测气体 | 氯化氢(HCl) |
|---|---|
| 精度 (1σ) | ≤45 ppt (10 秒), ≤15 ppt (100 秒) |
| 检测下限(3σ,100 秒) | 45 ppt |
| 方法检测限 (依据 Semi C10-1109) | 250 ppt |
| 线性度 (依据 IEC 61207) | ±1% |
| 量程准确度 | ±5% @ 满量程 |
| 零点准确度 | ±50 ppt |
| 仪器间一致性 | ±5% @ 满量程 ±50 ppt @ 零点 |
| 测量范围 | 0-2 ppm |
| 测量间隔* | < 3 秒 |
| 样品流量 | ~2 标准升/分钟 |
| 综合响应时间 (T90/10 + T10/90)@ 20 ppb | <3 分钟 |
| 响应时间(下降) T90/10 @ 20 ppb | <1 分钟 |
*跨度测量间隔可能比所列值增加 2 倍。
| 测量技术 | 光腔衰荡光谱(CRDS)技术 |
|---|---|
| 校准周期建议 | 无需校准——首次验证在 6 个月时进行,此后每 12 个月进行一次 |
| 执行验证所需时间 | 根据制造商说明,预计少于 15 分钟 |
| 测量池温度 | ±0.005°C |
| 测量池压力控制 | ±0.0002 大气压 |
| 环境温度 | 15 至 35℃(运行);-10 至 50℃(贮存) |
| 样品湿度 | 小于 99% 相对湿度(在 40℃ 无冷凝条件下,无需干燥) |
| 附件 | 随附:泵(外置)、键盘、鼠标 选配:LCD 显示器(A0901) |
| 操作系统和数据输出 | RS-232、以太网、USB、模拟 0-10 V、Modbus、4-20mA(可选) |
| 接头 | ¼”Swagelok® 不锈钢接头(建议使用外径为 ¼”的 PFA 管) |
| 外形尺寸 | 分析仪:17 英寸宽 × 8.38 英寸高 × 24.4 英寸长(43.2 × 21.3 × 62 厘米),包括垫脚 外置泵:6.2 英寸宽 × 8.9 英寸高 × 12.8 英寸长(15.8 × 22.6 × 32.4 厘米) |
| 重量 | 分析仪:小于 55 磅(25 千克),外置泵:小于 14.3 磅(6.5 千克) |
| 电源要求 | 100-240 伏交流电;47-63 Hz(自动侦测);启动时(总计)小于 375 瓦。 稳态运行:120 瓦(分析仪),150 瓦(泵)。 |
| 质保期 | 12 个月 |
| 认证 | CE |
| 生产地 | 美国 |
| 组件/部件 | 操作 | 频率 |
|---|---|---|
| 颗粒过滤器 | 更换 | 每 6 个月 |
| 测量验证 | 代理验证 | 每 12 个月 |
| 泵 | 重建(隔膜) | 每 2 年预防性维护 |
| 风扇组件 | 更换 | 每 2 年预防性维护 |
| 外置泵 | 更换 | 每 5 年 |