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提升工艺效率,减少资源浪费

实时测量与监测气体浓度

晶圆厂在半导体制造过程中需要对气体混合物进行精确控制。即使气体成分的微小变化,也可能对晶圆的质量与一致性产生显著影响。

 

气体浓度分析仪帮助晶圆厂运营商确保工艺所用气体混合物符合规定标准。这类分析仪通常与监测系统配合使用,提供实时反馈,从而提升工艺效率,减少资源浪费。

方案优势

  • 质量控制保障

  • 实时测量多种酸性与碱性气体

  • 精度高达 ppt(万亿分之一)级别

  • 快速采样选项,便于清洗与抽气系统快速清洁采样管线